最新テクノロジーのご紹介
Product Information 製品情報
Silson社(イギリス)は、新興技術であったX線顕微鏡用の薄い誘電体基板を製造・供給するため、1994年に設立されました。初期の製品は、従来の窒化シリコン薄膜（Si3N4）が中心でした。
現在では低応力SiRN(Silicon-rich nitride)薄膜・炭化ケイ素（SiC）薄膜・単結晶(100)シリコン薄膜・単結晶(100)ゲルマニウム薄膜も製造しています。また、単なる薄膜だけでなく、液体封入ホルダー・ヒーター加工膜・有孔薄膜・グラフェン膜等の付加価値の高い製品も幅広く提供しています。
Silson社の薄膜は様々な用途に応じて、各種カスタムを柔軟に対応いたします。
特長・機能
- 低圧化学気相成長法（LPCVD）で成長
- 薄くて丈夫（SiRNの場合、応力は300〜400 MPa）
- 幅広いフレーム・メンブレンサイズを供給
- 高い耐圧性
- 優れた表面精度
- 化学的に無害
- カスタムリクエストに柔軟対応
【メンブレンサイズ別耐圧性】
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アプリケーション
- X線顕微鏡・電子顕微鏡向けサンプルホルダ
- 電子線・イオンビーム透過用の真空窓
- X線・光学フィルター
- 密着型顕微鏡用のレジスト材
- その他ご研究用途
標準仕様
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SiRN・Si3N4薄膜 標準オプション |
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メンブレン・サイズ |
0.25mm, 0.5mm, 1.0mm, 1.5mm, 2.0mm, 2.5mm, 3.0mm, 4.0mm, 5.0mm, 6.0 mm,7.0mm, 8.0mm, 9.0mm, 10.0mm, 11.0mm, 12.0mm, 13.0mm, 14.0mm, 15.0 mm角 |
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メンブレン・厚 |
30nm, 50nm, 75nm, 100nm, 150nm, 200nm, 500nm, 1000nm (※10nm, 20nm はSi3N4のみ可能） |
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フレーム・サイズ |
5mm角、7.5mm角、10mm角、12.5mm角、14mm角、17.5mm角、23.5mm角 |
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フレーム・厚 |
200μm, 381μm, 525μm |
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TEMS専用 （直径3.0mmのグリッド用標準ホルダー（3.05mm）） |
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メンブレン・サイズ |
0.05mm角, 0.1mm角, 0.25mm角, 0.5mm角, 1.00mm角, 1.00mmx0.25mm, 1.50mm角 |
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メンブレン・厚 |
10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 75nm, 100nm, 150nm, 200nm, 500nm |
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フレーム・サイズ |
2.65mm x 2.65mm、四隅にエッチング加工したシリコンフレーム |
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フレーム・厚 |
100nm, 200nm |
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カスタム加工
ご要望に応じた多様な組み合わせのカスタムを対応します。
・フレーム、メンブレンのサイズや厚みのカスタム相談も可能です。
・薄膜の材質：窒化シリコン(SiRN, Si3N4), 炭化ケイ素（SiC）,単結晶(100)シリコン, 単結晶(100)ゲルマニウム,グラフェン
各種コーティング、パターニング
Al, Ti,Au, Pt, Ag, Cr, Zr等の金属コーティング加工に対応します。また、コーティング厚みの調整や機能別パターニングのカスタムもお受けします。
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・応用例① MEMSヒーター：コイル式の金（Au）のパターニング
最大250℃まで試料を加熱することが可能です。
・応用例② ファインダーグリッド：20nmの金(Au)のパターニング
STXM（走査型透過X線顕微鏡）などで、グリッド上の位置を基準に粒子の位置特定や簡易測定が可能になります。
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方位マーカー
下記２つに対応します（両方の組み合わせも可能）：
1)中心からずらした位置に小さなメンブレンを形成（XY識別）
2)フレーム裏面にRマークを刻印（裏面識別）
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有孔薄膜
メンブレン上に単孔・複数孔配列の加工。直径や孔の位置について調整可能です。
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複数窓
区画分け用途に、１つのフレームに3×3, 5×5等のメンブレン配列（array）を形成可能です。
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複数窓
複数フレームアレイ窓（MFAｓ）、リソグラフィ・ウエハー
お客様で複数の窓を一度にコーティングやフォトレジスト塗布等の加工要求に応じて、ウエハー状やリソグラフィ・ウエハー状での納品は可能です。MFAsの分離方法はこちらの動画をご参照ください。
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その他オプション
液体封入ホルダー
薄膜との別売りも相談可能
1)流動観察用途の場合、3~4本の流路を備えた3Dプリント製液体ホルダーとSU-8スペーサー取り付け薄膜の一式を提供可能です。
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薄膜のマウンティング
標準マウント、提供頂いたマウントへのアセンブリ、マウントの製造及びアセンブリのサービスを提供します。
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シリコン・アパチャー（膜無しシリコンフレーム）
光の量を調整するご用途などに、異方エッチング技術でメンブレン部を除去し、シリコン・アパチャーの製造を承ります。
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特殊カスタムも承りますので、まずは、お気軽にお問い合わせください。
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