単結晶(100)シリコン薄膜

貴社の課題に沿った
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Product Information 製品情報

Silson社のシリコン薄膜は、窒素の含有を避けたいアプリケーションにおいて、窒化シリコン薄膜に代わる最適な選択肢となります。
また、軟X線や極端紫外線(EUV)領域において、窒化シリコン薄膜よりも高い透過率を実現します。


本製品は導電性シリコンウエハーを基板としているため、電子顕微鏡等の用途において帯電抑制効果を持つ試料ホルダーとして適しています。
また、単結晶(100)構造を有するため、各種材料のエピタキシャル成長用基板としても理想的です。

特長・機能

  • 薄くて丈夫
  • 幅広いフレーム・メンブレンサイズを供給
  • 高い耐圧性
  • 軟X線領域において窒化シリコン薄膜よりも高い透過率
  • 標準フレーム:ホウ素(ボロン)p型ドープのシリコンウエハー
  • 低抵抗率(1–30 Ω・cm)
  • 優れた表面精度(0.5nm未満)
  • 正方形窓以外に、長方形窓、複数窓(array)等のカスタムに対応可能

【比較表】メンブレン厚50nmにおける軟X線透過率シミュレーション結果

以下はLBL CXRO X線データベースのデータを基に、Silson社が作成したSiN薄膜とSi薄膜における軟X線透過率の比較グラフです。

Silson社では、各種薄膜の透過率計算に、CXROデータベースの使用を推奨しています。

該当ページはこちらからご確認いただけます。

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アプリケーション

  • X線顕微鏡・電子顕微鏡向けサンプルホルダ
  • 電子線・イオンビーム透過用の真空窓
  • X線・光学フィルター
  • その他ご研究用途

標準仕様

標準オプション

メンブレン・サイズ

0.02mm ~ 19.0mm角

メンブレン・厚

30nm, 50nm, 100nm, 200nm, 500nm, 2,000nm, 5,000nm, 7,000nm, 10,000nm, 25,000nm, 50,000nm

フレーム・サイズ

TEM, 5.0mm, 7.5mm, 10.0mm, 12.5mm, 14.0mm, 17.5mm, 23.5mmm角

フレーム・厚

(メンブレン厚200nm以下の場合)200μm, (メンブレン厚2000nm以上の場合) 300μm

上記以外のサイズ要望はご相談を承ります。

【管理画面内ご案内】ブロックを追加してください。2カラム

※カスタム・オプション:複数窓
区画分け用途に、1つのフレームに3×3, 5×5等のメンブレン配列(array)を形成可能です。

【管理画面内ご案内】ブロックを追加してください。2カラム

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カタログ

【カタログ】Silson社製窒化シリコン薄膜

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コーンズ テクノロジーの取扱技術の裾野は幅広く、通信RF分野、イメージング・IRなどの各種センサー分野、各種分析装置、産業用パッケージング技術そしてダイヤ成膜技術に及び、用途として各種無線通信システム分野、オートモーティブ分野、航空宇宙分野、防衛セキュリティー分野、先端エレクトロニクス技術開発分野にわたります。

これからも「技術商社」として、先進的な製品・技術をいち早く察知し、国内外の産業発展の一翼を担っていく気概を持ち、我々の付加価値向上を目指します。

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