クローズドイオンソース型 ガス分析計 【分析装置・計測器】

クローズドタイプの四重極質量分析計です。レスポンスが良くスパッタ装置などのオンラインプロセスの監視とコントロール、高真空残留ガスの分析及びプロセス機器のリークチェックなど、さまざまなアプリケーションに使用可能です。検出限界 1ppm以上、mTorr圧力で直接サンプリングが可能です。

クローズドイオンソース型ガス分析計の原理と仕組み

クローズドイオンソース型ガス分析計は質量分析計のひとつで、「四重極型分析器」がベースになっています。検出するガスをイオン化することで、非常に精度の高い測定が可能になります。

四重極型分析器は大きく3つの部分から構成されています。試料となる気体はまず「イオン化部」でイオンに変換され、弱い電圧で「四重極部（質量分離部）」に向けて加速されます。四重極部には正負逆の電圧をかけられた4本の電極が並んでいて、高速で位相変化する電場が生じています。

四重極部に入ったイオンの内、安定的な振動状態を持ったイオンは、そのまま四重極部を通り抜けて「イオン検出器」に到達します。不安定なイオンは四重極部を通り抜けることができません。

このようにして選別された試料イオンは、イオン検出器内で電子を生み出します。この電子が検出部内で衝突を繰り返すことで増幅され、より高精度に気体の組成を分析できるのです。

主な用途と市場

クローズドイオンソース型ガス分析計は、構造が比較的シンプルで低コストのため、スパッタ装置の監視・コントロールや、高真空残留ガスの計測などに利用されます。
コーンズテクノロジーでは、 CIS100 CIS200 CIS300の3機種を取り扱っています。