マイクロ波プラズマCVD装置 「SDSシリーズ SDS6K」
合成ダイヤモンドの大規模生産を可能とするダイヤモンドCVD装置のフラッグシップモデル
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Product Information 製品情報
SDS6Kは、数百時間の連続合成にも耐えうる高い信頼性と安定性を両立し、様々な用途向けに、高品質なCVD単結晶および多結晶ダイヤモンドを大量生産する先進的な成膜装置です。
特徴
- 低パワーから高パワーまで卓越したプラズマ安定性
- 合成過程を様々な角度から確認(10か所の観察ポート)
- コンピューター制御レシピ運転(マニュアル操作も可能)
- データロギング機能
- 基板温度自動制御機能
- 2.45GHz高膜均一性4インチ成膜(専用基板ホルダー)
アプリケーション
- ヒートスプレッダー
- パワーデバイス
- 光学部品
- 電気化学電極、電子放出装置
- 放射線・量子センサー
- 宝飾
- 切削工具
仕様
|
マイクロ波最大出力 / 周波数 |
6kW / 2.45GHz |
|---|---|
|
チャンバー構成素材 |
アルミニウム |
|
ステージタイプ |
水冷式 |
|
標準基板フォルダーサイズ |
50mm (2inch) φ |
|
標準MFC* 搭載数 (最大6チャンネルまで) |
3チャンネル (H2 / CH4 / 02) |
|
圧力制御範囲 |
10 – 220 Torr |
オプション
- 追加MFCキット(1台あたり最大6系統まで)
- 2波長赤外放射温度計 (475-1475℃)
- フィラメント式温度計 (850-1750℃)
- ドライポンプ
- TMP (ターボ分子ポンプ)キット
- 自動温度フィードバック制御ソフトウェア
- 発光分光分析装置
- マイクロ波出力10kW (個別相談)
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