お知らせ
大面積のダイヤモンド成膜に対応可能な新型マイクロ波プラズマCVD装置SDS7000 発売予定
SDS7000はセキダイヤモンドシステムズの新型装置として、従来のクラムシェル型および縦型装置のそれぞれの長所を融合させて開発されました。
高出力密度で最適化された安定したダイヤモンド合成プロセスを実現します。
宝飾用ダイヤモンドの生産、およびヒートスプレッダなどの産業用途におけるダイヤモンド合成をターゲットとしています。
ターボ分子ポンプ、プレナム制御付きZ軸ステージ、ロードロック機構、バイアス、ステージヒーター、その他拡張機能オプションも開発中です。
特徴
- 長時間の連続稼働を可能にする安定した6kW高密度プラズマ生成
- 単結晶ダイヤモンド成膜において直径3インチの有効エリア
- 操作性を高めたグラフィックインターフェース
- 制御システムを装置ラック内に内蔵、省スペース
