マイクロ波プラズマCVD装置
SDSシリーズ SDS6K 【ダイヤ成膜】
合成ダイヤモンドの大規模生産を可能とするダイヤモンドCVD装置のフラッグシップモデル
メーカー セキ・ダイヤモンド・システムズ（Seki Diamond）
特徴
- 低パワーから高パワーまで卓越したプラズマ安定性
- 合成過程を様々な角度から確認(10か所の観察ポート)
- コンピューター制御レシピ運転(マニュアル操作も可能)
- データロギング機能
- 基板温度自動制御機能
- 2.45GHz高膜均一性4インチ成膜(専用基板ホルダー)
アプリケーション
- ヒートスプレッダー
- パワーデバイス
- 光学部品
- 電気化学電極、電子放出装置
- 放射線・量子センサー
- 宝飾
- 切削工具
仕様
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マイクロ波最大出力 / 周波数 |
6kW / 2.45GHz |
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チャンバー構成素材 |
アルミニウム |
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ステージタイプ |
水冷式 |
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標準基板フォルダーサイズ |
50mm (2inch) φ |
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標準MFC* 搭載数 (最大6チャンネルまで) |
3チャンネル (H2 / CH4 / 02) |
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圧力制御範囲 |
10 – 220 Torr |
オプション
- 追加MFCキット（1台あたり最大6系統まで）
- 2波長赤外放射温度計 （475-1475℃）
- フィラメント式温度計 （850-1750℃）
- ドライポンプ
- TMP （ターボ分子ポンプ）キット
- 自動温度フィードバック制御ソフトウェア
- 発光分光分析装置
- マイクロ波出力10kW （個別相談）
カタログ・資料
メーカー紹介
セキ・ダイヤモンド・システムズ（Seki Diamond）
セキダイヤモンドシステムズは、当社が提供するマイクロ波プラズマCVD装置のブランド名称で、輸入製品販売の枠を越えて自社製品の開発にも傾注してきました。ダイヤモンドは、さまざまな優れた物性を有することから「究極の素材」「次世代産業材料」と言われ、世界中で研究開発が進められています。当社は、ダイヤモンド合成の業界標準装置として、世界で900台以上の納入実績を誇ります。またダイヤモンド合成技術の総合コンサルティング企業として、合成プロセス開発の支援、お客様のニーズに応える各種ダイヤモンド合成装置や国内ダイヤモンド基板製造メーカの多国籍販売支援にも力を入れています。
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当社スタッフが必要な条件・用途をお伺いした上で、最適な製品をご提案いたします。
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ダイヤ成膜装置部
TEL：03-6774-7060
E-MAIL：ctl-dia@cornes.jp
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