マイクロ波プラズマCVD装置 「SDSシリーズ SDS6380」
高真空コンフラット規格チャンバー、高性能電子材料および量子材料開発向け
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Product Information 製品情報
SDS6380はコンフラット(CF)規格チャンバーを装備し、マイクロ波電源5 kWまでの使用領域において最適化されたデザインを有します。また超高真空下で不純物が 少ない成膜環境を実現し、高純度なダイヤモンド成長が可能です。特に高性能な電子材料および量子デバイス開発用途のダイモンド合成に実力を 発揮します。
特徴・機能
- 長時間の安定的な稼働を可能にする5kW高密度プラズマ生成
- 超高真空対応水冷式チャンバー
- モーター駆動水冷式ステージ/加熱ステージ
- ユーザフレンドリーなグラフィックインターフェース
- 2インチロードロック装備/非装備に対応
- チャンバー加熱(ベーキング)機構
アプリケーション
- 量子デバイス及び同位体制御のダイヤモンド合成
- 高性能電子材料
- 放射線ディテクタ
仕様
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| マイクロ波最大出力 / 周波数 | 5kW / 2.45GHz |
| チャンバー構成素材 | スレンレス鋼 |
| チャンバービューイングポイント | ICF70 x 10ポート |
| ICF152 x 1ポート (2インチウェハー用) | |
| ステージタイプ | 水冷式 |
| 標準基板フォルダーサイズ | 50mm (2inch) φ |
| 標準MFC* 搭載数 (最大6チャンネルまで) | 3チャンネル (H2 / CH4 / 02) |
| 圧力制御範囲 | 10 – 220 Torr |
オプション
- 追加MFCキット (1台あたり最大6 系統まで)
- 2波長赤外放射温度計 (475-1475℃)
- フィラメント式温度計 (850-1750℃)
- ドライポンプ
- TMPによるチャンバー直接排気(ロードロック無しの場合のみ)
- ロードロックチャンバー(1インチor 2インチ)
- ロードロックチャンバー用 試料加熱機構
- 残留ガス分析計
- 発光分光分析装置
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