SRS社マスフィルタのベースとなる四重極質量分析器です。信頼性の高いデータ取得はもとより、フィラメント、エレクトロンマルチプライヤ（EM）の交換が容易な点などリーズナブルで高いメンテナンス性能にも定評があります。対象のマスレンジによりモデルの選択が可能です。

残留ガス分析器の原理と仕組み

気体中の成分情報や真空状態の質を確認するために用いられる装置が、残留ガス分析器（プロセスガスモニタ）で、残留ガス分析計とも呼ばれます。

残留ガス分析器は主に3つの部分から構成されていて、分析対象となる気体は「イオン源」「質量分離部」「検出部」のプロセスを経て分析されます。
まず試料となる気体は、イオン源で加熱された熱電子と衝突してイオン化します。

次に質量分離部に入った試料イオンは、イオンの質量ごとに分離されて、順番に検出部へと送られます。質量分離部は4本の平行な棒状電極により構成され、それらに直流電圧と高周波電圧を加えることで、イオンの質量分離を行います。この構造の分析器を、「四重極型分析器」と呼びます。

最後に検出部に入った試料イオンは、電極に衝突して2次電子を生み出します。この電子が検出部内で衝突を繰り返しながら増幅され、その信号を読み取ることにより気体の組成を分析できるのです。

主な用途
残留ガス分析器には、主に以下のような用途があります。

・半導体製造装置プロセスモニタ
・液晶、有機ELパネル製造装置プロセスモニタ
・昇温脱離ガス分析などの研究開発
・太陽光発電システムの研究開発
・環境測定

コーンズテクノロジーでは用途に応じて、RGA100、RGA200、RGA300の3機種を取り扱っています。