残留ガス分析器 「RGA100/ RGA200/ RGA300・RGA120/ RGA220/ RGA320」
最新テクノロジーのご紹介
Product Information 製品情報
RGA100 RGA200 RGA300
SRS社マスフィルタのベースとなる四重極質量分析器です。信頼性の高いデータ取得はもとより、フィラメント、エレクトロンマルチプライヤ（EM）の交換が容易な点などリーズナブルで高いメンテナンス性能にも定評があります。対象のマスレンジによりモデルの選択が可能です。
電源は、外部の+24VDC（2.5A）電源、またはOption 2のACコンセントに接続する内蔵電源モジュールから供給されます。
LEDインジケーターは、電子増倍管、フィラメント、電子システム、およびプローブの状態をリアルタイムで表示します。
ECUはプローブから簡単に取り外すことができ、高温ベークアウト時にも容易に取り外すことができます。
※写真はAC電源モジュールオプション付きです。
【New】RGA120 RGA220 RGA320
RGA120シリーズは、従来のRGA100シリーズをベースに、質量範囲の拡大・性能の向上・内蔵アナログI/Oなどの新機能を備えています。
より広いダイナミックレンジを持つハイブリッド電位計は、低電流（<1 nA）では線形増幅器として、高電流（最大2 uA）では対数増幅器として機能します。
低電流または負の電流値では、線形モードによりベースライン感度が向上します。
この温度補償型ハイブリッド対数電位計は、 1回のスキャンで10 -7～ 10 -15 アンペアのイオン電流を2%以上の精度で検出します。
この広いダイナミックレンジにより、低濃度から高濃度のガスを同時に測定できます。
RGA120シリーズでは、内蔵I/Oポート・リレー・GPIO・スキャン中の温度監視用のRTD入力が付きました。
入出力接続方法が増えたことにより、RGAの監視と制御や外部プロセス制御も可能になります。
アナログ出力は、分圧を含むスキャンされた変数に比例した信号を提供します。
※写真はAC電源モジュールオプション付きです。
| マスレンジ | RGA100: 1～100amu RGA120: 1～120amu RGA200: 1～200amu RGA220: 1～220amu RGA300: 1～300amu RGA320: 1～320amu |
|---|---|
| 分解能 | 1amu |
| ダイナミックレンジ | 6 桁（シングルスキャン） |
| 分圧 | 5× 10 -14 Torr (EM) |
| その他 | リアルタイム Windowsソフトウェア表示モード |
| マススペクトル、リークディテクタ、真空度vs時間 | |
| マルチヘッドオペレーション | |
| オプション | 二次電子増倍管オプション（EM） |
| イオンカウンティング出力オプション | |
| Ethernet アダプターオプション |
オプション
RGAの測定精度、速度、感度、安定性を向上できるオプションです。
少量のイオンを何度も衝突させて電流を増幅させることにより、より少量のガスを検知することも可能です。
最小検出可能分圧：
5×10⁻¹¹ Torr (オプションなし)
5×10⁻¹⁴ Torr (オプションあり)
回り込み回避（公開ページにはこのパーツ表示されません）
AC電源モジュール
外付けの電源が必要の所、電源を本体に内蔵できるオプションです。
左図がオプションなし(24 VDC)、右図(100 V)がオプションありの場合。
回り込み回避（公開ページにはこのパーツ表示されません）
残留ガス分析器とは
残留ガス分析器の原理と仕組み
気体中の成分情報や真空状態の質を確認するために用いられる装置が、残留ガス分析器（プロセスガスモニタ）で、残留ガス分析計とも呼ばれます。
残留ガス分析器は主に3つの部分から構成されていて、分析対象となる気体は「イオン源」「質量分離部」「検出部」のプロセスを経て分析されます。
まず試料となる気体は、イオン源で加熱された熱電子と衝突してイオン化します。
次に質量分離部に入った試料イオンは、イオンの質量ごとに分離されて、順番に検出部へと送られます。質量分離部は4本の平行な棒状電極により構成され、それらに直流電圧と高周波電圧を加えることで、イオンの質量分離を行います。この構造の分析器を、「四重極型分析器」と呼びます。
最後に検出部に入った試料イオンは、電極に衝突して2次電子を生み出します。この電子が検出部内で衝突を繰り返しながら増幅され、その信号を読み取ることにより気体の組成を分析できるのです。
主な用途
残留ガス分析器には、主に以下のような用途があります。
・半導体製造装置プロセスモニタ
・液晶、有機ELパネル製造装置プロセスモニタ
・昇温脱離ガス分析などの研究開発
・太陽光発電システムの研究開発
・環境測定
コーンズテクノロジーでは用途に応じて、RGA100、RGA200、RGA300、RGA120、RGA220、RGA320の36機種を取り扱っています。
SRS社製RGAシリーズの特長
ソフトウェア
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