軟X線光学部品 X線ゾーンプレート 【センサ・電子部品】
メーカー シルソン社(Silson)
特長・機能
- 種類:フレネルゾーンプレート、リニアゾーンプレート
- 使用波長:EUV、軟X線、硬X線
- 材質:PMMA、タングステン(W)、金(Au)、タンタル(Ta)
- 材質厚さ:100nm~500nm (#1)
- 最外郭線幅:50nm*
- サポート レイヤー*:窒化シリコン(Si3N4)、フリースタンディング
※上記仕様は、製作一例です。
※インチのアルミサポートリングへ装着も可能です。(別途費用)
#1:ハイブリッド型(Metal/SiN)も可能です。
(f.e. Tungsten 500nm/SiN 500nm)
メーカー紹介
本製品についての
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当社スタッフが必要な条件・用途をお伺いした上で、最適な製品をご提案いたします。
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電子デバイス部 センサーチーム
TEL:03-5427-7564
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