軟X線光学部品 X線ゾーンプレート 【センサ・電子部品】
メーカー シルソン社（Silson）
特長・機能
- 種類：フレネルゾーンプレート、リニアゾーンプレート
- 使用波長：EUV、軟X線、硬X線
- 材質：PMMA、タングステン（W）、金（Au）、タンタル（Ta）
- 材質厚さ：100nm～500nm (#1)
- 最外郭線幅：50nm*
- サポート レイヤー*：窒化シリコン（Si3N4）、フリースタンディング
※上記仕様は、製作一例です。
※インチのアルミサポートリングへ装着も可能です。(別途費用)
#1：ハイブリッド型(Metal/SiN)も可能です。
（f.e. Tungsten 500nm/SiN 500nm）
メーカー紹介
シルソン社（Silson）
1994年の創業以来、Silson社はX線顕微鏡の進化を支える薄膜技術を追求してきました。現在では、SiRN
(Silicon-rich nitride)薄膜をはじめ、SiC薄膜、単結晶(100)シリコン薄膜、ゲルマニウム薄膜を製造・供給しています。お客様の用途に合わせたカスタムにも柔軟に対応します。
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当社スタッフが必要な条件・用途をお伺いした上で、最適な製品をご提案いたします。
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電子デバイス部 センサーチーム
TEL：03-5427-7564
E-MAIL：ctl-devices@cornes.jp
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