マイクロ波プラズマCVD装置
SDSシリーズ SDS6500X 【ダイヤ成膜】
合成ダイヤモンドのR&D、量産を両立したダイヤモンドCVD装置のフラッグシップ
メーカー セキ・ダイヤモンド・システムズ（Seki Diamond）
特長・機能
- 合成サイズ：2インチ以上
- 成長速度：7μm/hr
- クラムシェル・チャンバー
アプリケーション
- R&D
- 宝飾用
- 工具素材
- ヒートシンク
- 電極
仕様
- マイクロ波電源出力：5.5kW
- 3系統MFC
- 冷却ステージ
- GUI制御
オプション
- 追加MFC：最大6系統
- 2波長式放射温度計
- フィラメント式放射温度計
- 光高温計
- Z軸ステージ
- 自動温度制御
- 高真空排気ポンプ
- ドライポンプ
カタログ・資料
メーカー紹介
セキ・ダイヤモンド・システムズ（Seki Diamond）
Seki Diamondは、ダイヤモンドおよびCVDダイヤモンド製品の設計、製造、加工を専門とする企業です。
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当社スタッフが必要な条件・用途をお伺いした上で、最適な製品をご提案いたします。
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ダイヤ成膜装置部
TEL：03-6661-9329
E-MAIL：ctl-dia@cornes.jp
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