イオンゲージコントローラ/測定球 「IGC100」
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Product Information 製品情報
イオンゲージコントローラ／測定球 IGC100
高性能真空計制御ユニットIGC100とピラニゲージ・電離真空計を組み合わせることによって、1,000Torr～2×10-11までの測定が可能になります。
| 測定範囲 | 1,000Torr～UHV |
|---|---|
| 表示 | 3桁+指数表示、温度vs圧力表示他 |
| 出力 | アナログ電圧（4ch） |
|---|---|
| 接続測定球 | SRS社製品他 |
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オプション
ピラニゲージ PG108U / 電離真空計 GR GW NR NW
各種フランジに対応します。150℃まで使用可能です。電離真空計は、ガラスチューブ、ヌードゲージ、超高真空ヌードゲージからお選びいただけます。
| 測定レンジ | |
| ピラニゲージ | 1000～10-4 Torr |
| 測定レンジ | |
| ガラス球 | 2×10 -10 ～ 1×10 -3 Torr |
| ヌードゲージ | 4×10 -10 ～ 1×10 -3 Torr |
| UHV-ヌードゲージ | 2×10 -11 ～ 1×10 -3 Torr |
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