マイクロ波プラズマCVD装置
SDSシリーズ SDS5200S 【ダイヤ成膜】
ダイヤモンドエレクトロニクス／ナノダイヤモンド合成の必須装置
メーカー セキ・ダイヤモンド・システムズ（Seki Diamond）
特長・機能
- 合成サイズ：2インチ以上
- 成長速度：0.1 – 0.5μm/hr
- 2重壁水冷式高気密チャンバー
アプリケーション
- パワーデバイス
- 量子コンピュータ など
仕様
- マイクロ波電源出力：1.5kW
- 3系統MFC
- 加熱ステージ
- タッチパネルコントロール(インターロック・シーケンス&バルブ制御)
オプション
- 2波長式放射温度計
- フィラメント式放射温度計
- 高真空排気ポンプ
- 光高温計
- DCバイアス
- ドライポンプ
- ロードロック機構
- 完全手動／完全自動制御ユニット
カタログ・資料
メーカー紹介
セキ・ダイヤモンド・システムズ（Seki Diamond）
Seki Diamondは、ダイヤモンドおよびCVDダイヤモンド製品の設計、製造、加工を専門とする企業です。
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当社スタッフが必要な条件・用途をお伺いした上で、最適な製品をご提案いたします。
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ダイヤ成膜装置部
TEL：03-6661-9329
E-MAIL：ctl-dia@cornes.jp
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