2015.03.22
【Webマガジン Vol.14 – Mar., 2015】ベテル社製「熱物性測定装置TA33」
WEBマガジンダイヤ成膜
- この記事の監修者
- コーンズテクノロジー編集部
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2014年12月2～4日に米国マサチューセッツ州ボストンにて開催されたMRS（Materials Research Society）展示会に出展してきました。MRSとは研究促進と技術革新を目的とした材料における多分野にまたがる世界的研究者の集まる学会です。
展示会場でもあるハインズコンベンションセンターと隣接するシェラトンホテルのホールを使って6つのテーマで53ものシンポジウムが開かれました。コーンズテクノロジーでは毎年この展示会にダイヤモンド成膜装置の出展をしており、新製品の紹介や商談の場として活用しています。今回はあわせてベテル社製、熱物性測定装置「サーモウェーブアナライザTA33」を海外初出展しました。
展示会場のハインズコンベンションセンター
MRS展示会には最先端の研究者が集結する
■ 通算200台以上の販売実績を誇るマイクロ波プラズマCVD装置
マイクロ波プラズマCVD装置
SDSシリーズ AX6500
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ダイヤモンドといえば多くの方は光り輝く宝石をイメージしますが、サイエンスの分野では最も固く、高い熱伝導性と絶縁性を持つ究極の材料とも言われています。例えばダイヤモンドを使った半導体は従来のシリコンに替わる次世代のコンピュータに必須の技術と言われ、実用化はもう目の前まで来ています。こういったダイヤモンド成膜を行うための装置が当社セキダイヤモンドのマイクロ波プラズマCVD装置です。
この装置は非常に良質なダイヤモンドを合成することが可能で、業界ではダイヤモンド成膜装置の老舗として確固たる地位を築いています（セキテクノトロン時代から通算200台以上の販売実績があります）。日本のダイヤモンド研究は盛んで10人以上のシンポジウム発表者がおり、シンポジウム発表者の中にも多くのユーザー様がおられました。
展示会場においても日本も含め海外から多くの方に当社ブースに訪れていただきました。ダイヤモンドCVD装置をはじめ関連製品の紹介や成膜方法についての情報交換でブースは常ににぎわっており、コーンズUSAの担当者であるBob氏は対応に大忙しでした。
■ ベテル社製、熱物性測定装置「サーモウェーブアナライザTA33」が解決する熱物性問題
今回のもう一つの目玉がこのベテル社が発表した熱物性測定装置「サーモウェーブアナライザTA33」です。高熱伝導性物質の追求は昨今の省エネ要求には欠かせない技術で、高性能なタブレット端末や高照度のLEDの設計には乗り越えなければならない放熱の問題があります。もちろん設計段階からこの問題に取り組むのですが、材料レベルからの取り組みはもはや必要不可欠です。
熱伝導材料としてグラファイトシートや高熱伝導ゴムやシリコーン、特殊なフィラー（セラミックスの粉）を配合したプラスチックフィルムの研究が盛んですが、その測定については独特の測定方法の専用の装置を使っていたりと各社まちまちの対応となっています。その問題解決に役立つのがTA33です。TA33は低熱伝導から高熱伝導物質まで測定可能なレンジが広いが高いのが特長で、サンプル面内方向と膜厚方向の熱拡散率の精密測定ができる能力をもつことから、極端に熱異方性があるグラファイトシートの測定に威力を発揮しています。また、ピンポイントで熱物性測定する特長を活かしマッピング測定ユニットの設定も可能です。
日本ではすでに実績のある装置ですが、海外展開を見据えてモデルチェンジを行いました。このMRSが海外初出展です。新型TA33は海外での使用を可能とするために電源周りを一新。サンプルステージと液体窒素の投入口を低い位置に設置することで作業性を向上させました。ソフトウェアも英語化され簡単クリックで熱拡散率を測定します。
サーモウェーブアナライザ TA33
高熱伝導率のダイヤモンドまで測定可能
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サーモウェーブアナライザ TA33を熱心に見る来場者
ブースにはセキダイヤモンド成膜装置を目当てに多くのお客様が訪れましたが、その際に紹介すると、みなさんダイヤモンドの熱拡散率測定には興味があり、「ダイヤモンドの熱物性を測れるのは画期的。」「どの様な原理か。」「どのくらいの大きさのサンプルが測れるのか。」「測定してみたい。」などと上々の評判でした。ダイヤモンドの特長の一つであるズバ抜けた熱伝導性はその高さゆえに精密に測定する装置がなく、熱物性を評価することを敬遠されていましたが、このTA33はそれを測定可能とする装置です。精密な熱物性測定ができる装置と細かなダイヤモンド成膜条件を制御できるプラズマCVD装置を駆使すれば、熱物性の異なるダイヤモンドを組み合わせた理想的な放熱材料が作れるかもしれません。
今回はダイヤモンド成膜装置と熱物性測定装置といった理化学の分野の一端の製品展示ではありましたが、国際的な展示会出展を通じて当社が世界から注目されているという実感を得ることができました。より一層お客様の期待に応えられるよう身が引き締まる思いです。
関連情報 ・ お問い合わせ
- 製品紹介ページ：
- 熱物性測定装置 サーモウェーブアナライザ TA33
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