マイクロ波プラズマCVD装置
SDSシリーズ SDS6380 【ダイヤ成膜】
コンフラット規格対応、高性能電子材料および量子材料開発向け
メーカー セキ・ダイヤモンド・システムズ（Seki Diamond）
特徴・機能
- 長時間の安定的な稼働を可能にする5kW高密度プラズマ生成
- 超高真空対応水冷式チャンバー
- モーター駆動水冷式ステージ/加熱ステージ
- ユーザフレンドリーなグラフィックインターフェース
- 2インチロードロック装備/非装備に対応
- チャンバー加熱(ベーキング)機構
アプリケーション
- 量子デバイス及び同位体制御のダイヤモンド合成
- 高性能電子材料
- 放射線ディテクタ
仕様
|
マイクロ波最大出力 / 周波数 |
5kW / 2.45GHz |
|
チャンバー構成素材 |
スレンレス鋼 |
|
チャンバービューイングポイント |
ICF70 x 10ポート ICF152 x 1ポート (2インチウェハー用) |
|
ステージタイプ |
水冷式 |
|
標準基板フォルダーサイズ |
50mm (2inch) φ |
|
標準MFC* 搭載数 (最大6チャンネルまで) |
3チャンネル (H2 / CH4 / 02) |
|
圧力制御範囲 |
10 – 220 Torr |
オプション
- 追加MFCキット (1台あたり最大6 系統まで)
- 2波長赤外放射温度計 (475-1475℃)
- フィラメント式温度計 (850-1750℃)
- ドライポンプ
- TMPによるチャンバー直接排気（ロードロック無しの場合のみ）
- ロードロックチャンバー（1インチor 2インチ）
- ロードロックチャンバー用 試料加熱機構
- 残留ガス分析計
- 発光分光分析装置
カタログ・資料
メーカー紹介
セキ・ダイヤモンド・システムズ（Seki Diamond）
セキダイヤモンドシステムズは、当社が提供するマイクロ波プラズマCVD装置のブランド名称で、輸入製品販売の枠を越えて自社製品の開発にも傾注してきました。ダイヤモンドは、さまざまな優れた物性を有することから「究極の素材」「次世代産業材料」と言われ、世界中で研究開発が進められています。当社は、ダイヤモンド合成の業界標準装置として、世界で900台以上の納入実績を誇ります。またダイヤモンド合成技術の総合コンサルティング企業として、合成プロセス開発の支援、お客様のニーズに応える各種ダイヤモンド合成装置や国内ダイヤモンド基板製造メーカの多国籍販売支援にも力を入れています。
本製品についての
お問い合わせはこちら
ご覧いただいている製品の仕様にご不明点がある方は、お気軽にお問い合わせください。
当社スタッフが必要な条件・用途をお伺いした上で、最適な製品をご提案いたします。
当社スタッフが必要な条件・用途をお伺いした上で、最適な製品をご提案いたします。
ダイヤ成膜装置部
TEL：03-6774-7060
E-MAIL：ctl-dia@cornes.jp
お問い合わせ
お問い合わせはフォームでも
受け付けをしております。
